微透镜阵列加工工艺是制造由数百至数万枚微米级透镜组成的阵列元件的关键技术，凭借高集成度、光学性能均一、批量化生产能力强等特点，在光通信、成像显示、生物医疗等领域发挥重要作用，推动光学系统向微型化、轻量化、多功能化升级。?
高集成度与性能均一性是其核心竞争力。该工艺可在几平方毫米的基底上制备出尺寸一致、曲率半径偏差小于1%的微透镜阵列，每枚微透镜的直径通常为5&尘耻;尘-500&尘耻;尘，焦距从几十微米到几毫米不等。在光通信领域，微透镜阵列可实现多通道光信号的并行耦合，大幅提升光纤通信的传输容量；在手机摄像头模组中，集成微透镜阵列的图像传感器能增强进光量，改善低光环境下的成像质量。?
多元工艺路线适配不同需求。微透镜阵列加工工艺主要包括光刻热熔法、灰度光刻法、纳米压印法、飞秒激光直写法等。光刻热熔法通过光刻形成光刻胶柱，再加热使其表面张力驱动形成球面透镜，工艺简单、成本低，适用于消费电子领域；纳米压印法通过高精度模具批量复制微透镜结构，生产效率高，可实现百万级元件的规模化制造；飞秒激光直写法则无需掩模，直接在基底上刻蚀出复杂形状的微透镜，适用于科研及定制化需求。?
多功能集成推动技术创新。现代微透镜阵列加工工艺可与镀膜、掺杂等技术结合，实现抗反射、偏振、滤光等附加功能。在生物医疗领域，集成荧光滤光功能的微透镜阵列可用于细胞成像，提高检测效率；在础搁/痴搁设备中，抗反射微透镜阵列能减少光反射干扰，提升虚拟图像的清晰度。此外，该工艺还可制备非球面、自由曲面微透镜阵列，为新型光学系统设计提供更多可能。?
